中部科學園區有許多半導體產業，製程中使用大量揮發性高的溶劑和強酸，產生硫化氫毒物恐造成人體呼吸困難；台中縣環保局十分重視，已訂出管制計畫，首批調查出爐，檢測硫酸和硝酸濃度都遠低危害指標，尚無汙染之虞。
台中縣環保局長莊永松說，這項計畫名為「九十八年台中縣中部科學園區空氣污染物管制計畫」，在中科園區的周遭持續進行無機酸調查與監測，掌控園區附近空氣品質變化情形為避免科技進步帶來環境汙染，並危害居民，環保局管制汙染物責無旁貸，這項管制計畫就是針對「無機酸」長期監測，檢測項目包括有氫氟酸、鹽酸、硝酸、硫酸等四種。
目前進駐中科的半導體產業數量頗多，在清洗IC表面蝕刻作業時，會大量使用揮發性高的溶劑及強酸，易產生空氣污染物無機酸，遇到高溫時合成硫化氫，這種「毒氣」會造成人體呼吸困難、不適等症狀。
環保局空氣品質及噪音管制科長商文麟說，最近在中科附近測得硫酸濃度，介於4.8至23.7μg/m3之間，硝酸所測濃度在2.4至27.6μg/m3之間，氫氟酸所測濃度介於N.D0.8μg/m3之間，都遠低於毒物資料危害指標，顯示中科的無機酸在空氣中濃度相當低，對人體造成危害相對低微。